第180回研究会は精密工学会春季大会学術講演会のオーガナイズドセッションとして開催予定でしたが、新型コロナウイルス感染症拡大に伴い中止となりました。
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（公社）精密工学会
プラナリゼーションＣＭＰとその応用技術専門委員会
The Planarization and CMP Technical Committee, The Japan Society for Precision Engineering (JSPE)
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すべて表示2021/12/10 13:00よりオンラインにて第195回研究会「リソグラフィ技術の現在と未来」を開催しますので、奮ってご参加ください。参加申し込みはオンライン参加登録を行って頂くか、リンク先案内の申込み用紙にご記入の上、事務局までお送り下さい。多くの皆様の参加申込をお待ちしております。
COVID-19の影響によりICPT2020ならびにICPT2021は延期となりましたが，プラナリゼーションCMPとその応用技術に関わる研究や技術開発を行う研究者・技術者・学生にオンラインでの発表の機会を提供するとともに，アジア地域でのCMPユーザーズグループとの情報交換を図ることを目的に，Asian Workshop on Planarization/CMP Technology (AWPT)
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