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【更新】Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT) 開催のお知らせ(参加登録10/25まで)

COVID-19の影響によりICPT2020ならびにICPT2021は延期となりましたが,プラナリゼーションCMPとその応用技術に関わる研究や技術開発を行う研究者・技術者・学生にオンラインでの発表の機会を提供するとともに,アジア地域でのCMPユーザーズグループとの情報交換を図ることを目的に,Asian Workshop on Planarization/CMP Technology (AWPT)

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