特別見学会を開催しました

COVID-19の影響によりICPT2020ならびにICPT2021は延期となりましたが，プラナリゼーションCMPとその応用技術に関わる研究や技術開発を行う研究者・技術者・学生にオンラインでの発表の機会を提供するとともに，アジア地域でのCMPユーザーズグループとの情報交換を図ることを目的に，Asian Workshop on Planarization/CMP Technology (AWPT)

2021年度精密工学会秋季大会学術講演会が、オンライン・オンデマンド方式（9/21~9/27）＋オンライン・リアルタイム方式（9/21, 23）にて開催されます。日頃の研究・技術開発の成果をオーガナイズドセッション「プラナリゼーションCMPとその応用技術」に是非ご投稿頂きたく、どうぞよろしくお願い致します。 講演申し込みスケジュールは下記の通りです。　 ・講演申込開始：6月1日（火） ・講演申込締

2020年度精密工学会秋季大会学術講演会がオンラインでの学術講演会として2020年9月1日～7日に開催されます。日頃の研究・技術開発の成果をオーガナイズドセッション「プラナリゼーションCMPとその応用技術」に是非ご投稿頂きたく、どうぞよろしくお願い致します。 講演申し込みスケジュールは下記の通りです。　 ・講演申込開始：6月10日（水） ・講演申込締切：6月25日（木）17:00（締切の延長は行わ