【更新】Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT) 開催のお知らせ(参加登録10/25まで)COVID-19の影響によりICPT2020ならびにICPT2021は延期となりましたが,プラナリゼーションCMPとその応用技術に関わる研究や技術開発を行う研究者・技術者・学生にオンラインでの発表の機会を提供するとともに,アジア地域でのCMPユーザーズグループとの情報交換を...