COVID-19の影響によりICPT2020ならびにICPT2021は延期となりましたが,プラナリゼーションCMPとその応用技術に関わる研究や技術開発を行う研究者・技術者・学生にオンラインでの発表の機会を提供するとともに,アジア地域でのCMPユーザーズグループとの情報交換を図ることを目的に,Asian Workshop on Planarization/CMP Technology (AWPT) を,2021年10月29日(金)にオンライン開催します.
当専門委員会の会員・非会員に関わらず,多くの方にご参加頂ければと存じます(参加費無料,参加登録は10/25(月)まで)ので,どうぞよろしくお願いいたします.
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