委員長/Chair　　　黒河 周平　九州大学 /Syuhei Kurokawa, Kyushu University

副委員長/Vice Chair　近藤 誠一　(株) レゾナック /Seiichi Kondo, Resonac Corporation

副委員長/Vice Chair　鈴木 教和　中央大学 /Norikazu Suzuki, Chuo University

　　幹事/Member　 礒部 晶　　(株) ISTL /Akira Isobe, ISTL Co., Ltd.

　　幹事/Member　 森永 均　　(株) フジミインコーポレーテッド /Hitoshi Morinaga, FUJIMI Incorporated

　　幹事/Member　 山田 洋平　ウエスタンデジタル (同) /Yohei Yamada, Western Digital GK

　　幹事/Member　 菅井 和己　(株) フジミインコーポレーテッド /Kazumi Sugai, FUJIMI Incorporated

　　幹事/Member　 和田 雄高　(株) 荏原製作所 /Yutaka Wada, EBARA Corporation

　　幹事/Member　 畝田 道雄　金沢工業大学 /Michio Uneda, Kanazawa Institute of Technology

　　幹事/Member　 佐野 泰久　大阪大学 /Yasuhisa Sano, Osaka University

　　幹事/Member　 松井 之輝　キオクシア (株) /Yukiteru Matsui, KIOXIA Corporation

会計監事/Accounting Auditor　木下 正治　キノシタ・コンサルティング /Masaharu Kinoshita, Kinoshita Consulting

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　事務局/Secretary　武野泰彦　グローバルネット (株) /Yasuhiko Takeno, Global-net, Co., Ltd.
　事務局/Secretary　武野大夢　グローバルネット (株) /Hiromu Takeno, Global-net, Co., Ltd.

　事務局/Secretary　中村佳穂　グローバルネット (株) /Kaho Nakamura, Global-net, Co., Ltd.

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名誉会長　　土肥 俊郎　　九州大学・埼玉大学名誉教授、（株）Doi Laboratory

名誉顧問　　吉田 庄一郎 （株）ニコン 特別顧問

　　顧問　　中川 威雄　　東京大学名誉教授、ファインテック（株）

　　顧問　　河西 敏雄　　埼玉大学名誉教授、河西研磨技術特別研究室

　　顧問　　辻村 学　　 （株）荏原製作所 フェロー

　　顧問　　木村 景一　　九州工業大学名誉教授、ナノアート・プロジェクト

　　顧問　　檜山 浩国 　（株）荏原製作所

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アドバイザー/Adviser　Hae-do Jeong, Pusan National Univ.

アドバイザー/Adviser　S. V. Babu, Clarkson Univ.

アドバイザー/Adviser　Shuji Nakamura, U.C. Santa Barbara

アドバイザー/Adviser　Gerfried Zwicker, Fraunhofer Institut fuer Siliziumtechnologie ISIT

アドバイザー/Adviser　Bo Un Yoon, Samsung Electronics Co.,Ltd.

アドバイザー/Adviser　C-C. Arthur Chen, National Taiwan Univ. of Science & Technology