委員長/Chair　　　檜山 浩国　(株) 荏原製作所 /Hirokuni Hiyama, EBARA Corporation

副委員長/Vice Chair　近藤 誠一　昭和電工マテリアルズ (株) /Seiichi Kondo, Showa Denko Materials Co., Ltd.

副委員長/Vice Chair　黒河 周平　九州大学 /Syuhei Kurokawa, Kyushu University

　　幹事/Member　 礒部 晶　　(株) ISTL /Akira Isobe, ISTL Co., Ltd.

　　幹事/Member　 森永 均　　(株) フジミインコーポレーテッド /Hitoshi Morinaga, FUJIMI Incorporated

　　幹事/Member　 山田 洋平　ウエスタンデジタル (同) /Yohei Yamada, Western Digital GK

　　幹事/Member　 宮嶋 基守　富士通 (株) /Motoshu Miyajima, Fujitsu  Ltd.

　　幹事/Member　 菅井 和己　(株) フジミインコーポレーテッド /Kazumi Sugai, FUJIMI Incorporated

　　幹事/Member　 和田 雄高　(株) 荏原製作所 /Yutaka Wada, EBARA Corporation

　　幹事/Member　 畝田 道雄　金沢工業大学 /Michio Uneda, Kanazawa Institute of Technology

　　幹事/Member　 鈴木 教和　中央大学 /Norikazu Suzuki, Chuo University

　　幹事/Member　 佐野 泰久　大阪大学 /Yasuhisa Sano, Osaka University

　　幹事/Member　 松井 之輝　キオクシア (株) /Yukiteru Matsui, KIOXIA Corporation

　　幹事/Member　 綱島 祥隆　産業技術総合研究所 /Yoshitaka Tsunashima, AIST

会計監事/Accounting Auditor　木下 正治　キノシタ・コンサルティング /Masaharu Kinoshita, Kinoshita Consulting

 

　事務局/Secretary　武野泰彦　グローバルネット (株) /Yasuhiko Takeno, Global-net, Co., Ltd.
　事務局/Secretary　三上博子　グローバルネット (株) /Hiroko Mikami, Global-net, Co., Ltd.

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名誉会長　　土肥 俊郎　 （株）Doi Laboratory

特別顧問　　辻村 学　　 （株）荏原製作所

特別顧問　　木村 景一　　ナノアート・プロジェクト

名誉顧問　　佐々木 元　　(元)日本電気（株）

名誉顧問　　吉田 庄一郎 （株）ニコン特別顧問

　　顧問　　中川 威雄　　ファインテック（株）

　　顧問　　河西 敏雄　　河西研磨技術特別研究室

 

アドバイザー/Adviser　Hae-do Jeong, Pusan National Univ.

アドバイザー/Adviser　S. V. Babu, Clarkson Univ.

アドバイザー/Adviser　Shuji Nakamura, U.C. Santa Barbara

アドバイザー/Adviser　Gerfried Zwicker, Fraunhofer Institut fuer Siliziumtechnologie ISIT

アドバイザー/Adviser　Bo Un Yoon, Samsung Electronics Co.,Ltd.

アドバイザー/Adviser　C-C. Arthur Chen, National Taiwan Univ. of Science & Technology