「半導体CMP用語辞典」

【編】精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

株式会社オーム社(2008/10発売)

「CMP技術大系」

【監修】土肥俊郎、木下正治、精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

グローバルネット(2006/06発売)

「CMP用語辞典」

【編】精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会

グローバルネット株式会社(2000/0発売)

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