◆研究会

​第178回研究会「25周年記念特別研究会」(2019/12/18@プラザエフ)

第177回研究会「半導体市場動向、そして会員からの発表」(2019/10/15@プラザエフ)

第175回研究会 2019年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2019/09/05@静岡大学浜松キャンパス)

第174回研究会「先端デバイスとこれを実現する製造技術の最前線」(2019/5/24@名古屋大学ES総合館)

第173回研究会「IoTを支える後工程技術」(2019/4/17@プラザエフ)

第172回研究会 2019年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2019/3/13@東京電機通信大学)

第171回研究会「デバイスメーカー講演特集」(2019/2/12@プラザエフ)

第170回研究会「2018 精密工学会秋季大会報告と産学連携」(2018/12/21@プラザエフ)

第169回研究会「新デバイスとプロセス技術」(2018/10/25@プラザエフ)

第167回研究会 2018年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2018/09/06@函館アリーナ)

第166回研究会「先端デバイスとこれを実現するCMP消耗材技術の最前線」(2018/6/25@名古屋大学ES総合館)

第165回研究会「AIの拓く未来と半導体精密研磨最前線」(2018/4/25@プラザエフ

第164回研究会 2018年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2018/3/16@中央大学)

第163回研究会「国際学会ICPT2017から 厳選した発表特集 」(2018/2/13@プラザエフ)

第162回研究会「先端デバイスとCMP」(2017/12/21@プラザエフ)

第161回研究会「3次元実装」(2017/10/26@プラザエフ)

第159回研究会 2017年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2017/09/20@大阪大学)

第158回研究会「半導体の将来を切り開く先端デバイスと周辺技術」(2017/6/19@名古屋大学ES総合館)

第157回研究会「パワー半導体最前線:次世代基板徹底比較と応用展開」(2017/4/7@プラザエフ)

第156回研究会 2017年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2017/03/15@慶応大学)

第155回研究会「国際学会ICPT2017から厳選した発表特集」(2017/2/17@プラザエフ)

第154回研究会「CMPの応用広がる電子部品と新しい加工方法」(2016/12/22@プラザエフ)

第152回研究会「中国半導体事情とCMPプロセスにおける計測、モデリングとシミュレーション最新動向」(2016/10/11@プラザエフ)

第151回研究会 2016年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2016/09/08@茨城大学)

150回研究会「先端半導体デバイスとこれを支える製造技術、知財戦略」(2016/06/20@名古屋大学ES総合館)

第149回研究会「徹底検証 パワー半導体の最新技術動向/SiC量産の課題と対策」(2016/04/21@プラザエフ)

第148回研究会 2016年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2016/03/17@東京理科大)

第147回研究会「国際学会ICPT2015から厳選した発表特集」(2016/02/15@プラザエフ)

第146回研究会「会員の、会員による、会員のための研究会」(2015/12/18@プラザエフ)

第145回研究会「半導体基板洗浄技術と関連計測技術の最前線」(2015/10/30@プラザエフ)

第143回研究会 2015年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2015/09/04@東北大)

第142回研究会「Si-LSIデバイスとパワーデバイスにおける最先端の取組み」(2015/06/26@名古屋大学ES総合館)

第141回研究会「パワーデバイス用ウェーハ技術と研磨周辺技術の最近の進化」(2015/04/24@KIT虎ノ門大学院)

第140回研究会 2015年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2015/03/17@東洋大)

第139回研究会「国際学会ICPT2014から厳選した発表特集」(2015/02/23@KIT虎ノ門大学院)

第138回研究会「3D-NANDから研削・研磨・サイエンスまで」(2014/12/12@KIT虎ノ門大学院)

第136回研究会「イメージセンサー/3次元集積回路の最前線と加工技術」(2014/10/10@プラザエフ)

第135回研究会 2014年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2014/09/16@鳥取大)

第134回研究会「先端デバイスの研磨技術を支える基盤研究」(2014/06/16@名古屋大学ES総合館)

第133回研究会「徹底検証 SiC/GaNパワーデバイスの量産と加工技術の課題・対策」(2014/04/25@プラザエフ)

第132回研究会 2014年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2014/03/18@東大)

第131回研究会 総会・特別講演(2014/02/21)

第130回研究会「新規デバイスプロセスに資するコンシューマーブル技術最前線」(2013/12/06@プラザエフ)

第127回研究会 2013年度精密工学会秋季大会学術講演会OS(2013/09/12@関大

第128回研究会「応用広がる非デバイスCMPの最新動向」(2013/10/18@プラザエフ)

第126回研究会「ミニマルファブの現状と展望」(2013/06/21@名古屋大学ES総合館)

第125回研究会「先端Siデバイスに関するCMPと消耗材の技術」(2013/04/22@プラザエフ)

第124回研究会 2013年度精密工学会春季大会学術講演会OS(2013/03/13@東工大

第123回研究会 総会・特別講演(2013/02/04@プラザエフ)

第122回研究会「先端デバイスとグリーンデバイスの最前線」(2012/12/05@幕張メッセ Hall 2プレゼンテーションステージ)

第121回研究会「最先端を探る ~先端LSIとLED/パワー・エレクトロニクス加工の新展開~」(2012/10/26@プラザエフ)

第118回研究会「先端デバイスの動向」(2012/06/22@名古屋大学ES総合館)

第117回研究会「コンシューマブル技術の最前線」(2012/04/19@プラザエフ)

第115回研究会 総会・特別講演(2012/02/29@プラザエフ)

第113回研究会「半導体デバイスの新展開:450mm/三次元/省エネ化と今後のCMP市場」(2011/12/12@プラザエフ)

第112回研究会「グリーン・デバイス(LED/SiC/GaN)最前線と加工技術」(2011/10/11@プラザエフ)

第110回研究会「オーガナイズドセッション「プラナリゼーションCMPとその応用」再び」(2011/06/24@プラザエフ)

第109回研究会「日本半導体産業の国際競争力の現状と再生への提言」(2011/04/22@ゆうぽうと7F福寿)

第107回研究会 総会・特別講演(2011/02/18@プラザエフ)

第106回研究会「次世代CMP技術」(2010/12/15@プラザエフ)

100回突破・16周年記念特別研究会(2010/09/10@東京大学 武田先端知ビル)

第82回(通算102回)研究会「会員の、会員による、会員のための研究会」(2010/06/28@プラザエフ)

第81回(通算101回)研究会「環境/エネルギー用デバイスの最新動向と研磨・平坦化技術」(2010/04/27@プラザエフ)

第79回(通算99回)研究会 総会・特別講演(2010/02/24@プラザエフ)

第78回(通算98回)研究会「CMPの基礎を解析する」(2009/12/18@プラザエフ)

第75回(通算95回)研究会「日本半導体産業の将来と市場動向」(2009/08/24@プラザエフ)

第74回(通算94回)研究会「半導体生産方式の革新と電気化学への誘い」(2009/06/26@プラザエフ)

第73回(通算93回)研究会「More Mooreと More than Moore」(2009/04/20@プラザエフ)

第71回(通算91回)研究会 総会・特別講演(2009/02/23@プラザエフ)

第70回(通算90回)研究会「CMPとその周辺技術~ビジネス・プロセス・材料から英語発表のコツまで~」(2008/12/16@プラザエフ)

第67回(通算87回)研究会「CMP装置を支える要素技術のあるべき姿と今後の方向性」(2008/08/29@プラザエフ)

第66回(通算86回)研究会「半導体市場動向とCMP技術動向」(2008/07/04@プラザエフ)

第65回(通算85回)研究会「会員の、会員による、会員のための研究会」(2008/04/25@プラザエフ)

第63回(通算83回)研究会 総会・特別講演(2008/03/03@福岡国際会議場)

第60回(通算80回)研究会「32nmインテグレーションとCMP周辺の先端技術」(2007/12/10@プラザエフ)

第59回(通算79回)研究会「3D-IC・SIP技術」(2007/08/28@プラザエフ)

第58回(通算78回)研究会「45nm世代以降のCu/ULKインテグレーション技術」(2007/06/21@弘済会館)

第57回(通算77回)研究会「ウエーハエッジの管理と研磨」(2007/04/19@プラザエフ)

第55回(通算75回)研究会 総会・特別講演(2007/02/16@プラザエフ)

第54回(通算74回)研究会「デバイス化に関わるCMP技術とその評価」(2006/12/25@プラザエフ)

第52回(通算72回)研究会「65nmノードデバイスプロセス実用化と45nmノードデバイスプロセス開発におけるCMP技術動向」(2006/10/26@プラザエフ)

第51回(通算71回)研究会「次世代半導体技術の動向とその応用-コンソーシアムの目指す方向を軸に-」(2006/06/29@プラザエフ)

第49回(通算69回)研究会「CMPにおける最新の解析技術」(2006/04/20@プラザエフ)

第48回(通算68回)研究会 総会・特別講演(2006/02/09@プラザエフ)

第47回(通算67回)研究会「45nm世代の半導体CMP技術」(2005/12/15@ゆうぽうと)

第46回(通算66回)研究会「革新的半導体技術とCMP等の超精密技術の適用想定分野に迫る」(2005/10/27@学士会館)

 

© 2015 (公社)精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会