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◆年報巻頭言
九州大学 大学院工学研究院 機械工学部門 教授(工学博士) 黒河 周平
韓国国立釜山大学 機械工学部 教授(工学博士) 丁 海島
■ 2009年「見果てぬ夢 それとも 神をも恐れぬ挑戦か?:CMPのサイエンス化」
(株)荏原製作所 技術・研究開発・知的財産統括部 副統括部長(工学博士) 檜山 浩國
(株)日立製作所 マイクロデバイス事業部主任技師 山田 洋平
九州大学 大学院工学研究院 機械工学部門 教授(工学博士) 土肥 俊郎
■ 2006年「Planarization Carol (平坦化祝歌)」
(株)荏原製作所 常務執行役員 辻村 学
■ 2005年「集積回路とセンサ・MEMS融合とCMP 技術」
豊橋技術科学大学 電気・電子工学系教授 石田 誠
■ 2004年「CMP, the Technology of Pleasant Surprise and Promise of the Future」
Prof. Yoshio Nishi, Department of Electrical Engineering, Stanford University
日本電気株式会社 代表取締役会長 佐々木 元
■ 2002年「CMP Process Modeling for Improved Process Integration, Development and Control」
Prof. David Dornfeld, University of California at Berkeley
日立中央研究所 本間 喜夫
■ 2000年「CMPプロセスのより深い理解と制御に向けて」
ロデールニッタ株式会社/元東芝 木下 正治
■ 1999年「Planarization 誌の刊行を祝して」
松永 正久
土肥 俊郎
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