2011年「浅くて深いCMP」

九州大学 大学院工学研究院 機械工学部門 教授(工学博士) 黒河 周平

2010年「韓国のCMP事情から診た東アジア」

韓国国立釜山大学 機械工学部 教授(工学博士) 丁 海島

2009年「見果てぬ夢 それとも 神をも恐れぬ挑戦か?:CMPのサイエンス化」

(株)荏原製作所 技術・研究開発・知的財産統括部 副統括部長(工学博士) 檜山 浩國

2008年「好況よし、不況さらによし」

(株)日立製作所 マイクロデバイス事業部主任技師 山田 洋平

2007年「独自性と受容力を持つという日本人は、今…」

九州大学 大学院工学研究院 機械工学部門 教授(工学博士) 土肥 俊郎

2006年「Planarization Carol (平坦化祝歌)」

(株)荏原製作所 常務執行役員 辻村 学

2005年「集積回路とセンサ・MEMS融合とCMP 技術」

豊橋技術科学大学 電気・電子工学系教授 石田 誠

2004年「CMP, the Technology of Pleasant Surprise and Promise of the Future」

Prof. Yoshio Nishi, Department of Electrical Engineering, Stanford University

2003年「「知」の総合力としてのCMP 技術」

日本電気株式会社 代表取締役会長 佐々木 元

2002年「CMP Process Modeling for Improved Process Integration, Development and Control」

Prof. David Dornfeld, University of California at Berkeley

2001年「昔の話とこれからの話」

日立中央研究所 本間 喜夫

2000年「CMPプロセスのより深い理解と制御に向けて」

ロデールニッタ株式会社/元東芝 木下 正治

1999年「Planarization 誌の刊行を祝して」

松永 正久

1998年「発刊にあたって」

土肥 俊郎

◆年報巻頭言

© 2015 (公社)精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会